发明名称 CIRCUIT AND MANUFACTURE OF CIRCUIT AND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS62159466(A) 申请公布日期 1987.07.15
申请号 JP19860168988 申请日期 1986.07.17
申请人 SHIRIKONITSUKUSU INC 发明人 RORIMAA KEI HIRU
分类号 H01L27/06;H01L21/331;H01L21/8222;H01L27/02;H01L29/73;H01L29/732;H01L29/861;H01L29/866 主分类号 H01L27/06
代理机构 代理人
主权项
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