| 发明名称 |
METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
GB2185351(A) |
申请公布日期 |
1987.07.15 |
| 申请号 |
GB19860027568 |
申请日期 |
1986.11.18 |
| 申请人 |
THE * PLESSEY COMPANY PLC |
发明人 |
PETER GERARD * KENNY;PETER CHARLES * HUNT |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/033;H01L21/3065;H01L21/321;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
