发明名称 HOLDER FOR COMPOUND SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPS62158193(A) 申请公布日期 1987.07.14
申请号 JP19860303624 申请日期 1986.12.19
申请人 GOULD INC 发明人 BUU NIRUSON
分类号 C30B23/08;C30B23/06;H01L21/203 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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