| 发明名称 |
Use of a phenolic resin and ethylene oxide polymer as an etching resist |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3409487(A) |
申请公布日期 |
1968.11.05 |
| 申请号 |
US19640410013 |
申请日期 |
1964.11.09 |
| 申请人 |
UNION CARBIDE CORPORATION |
发明人 |
FRY JOHN S.;POLLART DALE F.;SILVER JULIUS L. |
| 分类号 |
C03C15/00;C08L61/06;C08L71/02;C23F1/02;C25F3/14;G03F7/021;G03F7/038;H01L21/3063;H01L21/308;H01L21/311;H01L21/3213;H01L49/02;H05K3/00;H05K3/06 |
主分类号 |
C03C15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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