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发明名称 HARD CARBON FILM
摘要
申请公布号 JPS62157602(A) 申请公布日期 1987.07.13
申请号 JP19860079875 申请日期 1986.04.07
申请人 KANEGAFUCHI CHEM IND CO LTD 发明人 YAMAMOTO KENJI;NAKAYAMA TAKEHISA;OWADA YOSHIHISA
分类号 H01B3/00;C23C14/46;C23C16/26;C23C16/27;C23C16/30;C23C16/50 主分类号 H01B3/00
代理机构 代理人
主权项
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