Apparatus for loading devices of dry etching installations,申请号AT19850003174-传众专利搜索

发明名称	Apparatus for loading devices of dry etching installations
摘要
申请公布号	AT383439(B)	申请公布日期	1987.07.10
申请号	AT19850003174	申请日期	1985.11.04
申请人	AKADEMIE DER WISSENSCHAFTEN DER DDR	发明人	KRULL ROLF DIPL.ING. DR.ING.;DEHOFF ARNULF DIPL.ING. DR.ING.;MATTKE WOLFGANG DIPL.ING. DR.ING.
分类号	B23Q7/04;B23Q7/14;B25B11/00;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/68;H01L21/302	主分类号	B23Q7/04
代理机构		代理人
主权项
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