| 发明名称 |
VACUUM HANDLER ESPECIALLY USED FOR HANDLING OF SILICON WAFER |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS62155533(A) |
申请公布日期 |
1987.07.10 |
| 申请号 |
JP19860294607 |
申请日期 |
1986.12.10 |
| 申请人 |
RESHIFU SA |
发明人 |
BERUNAARU PORI;JIERAARU SHIYANSHIYORU |
| 分类号 |
H01L21/677;B25B11/00;B25J15/06;B65G49/07;H01L21/67;H01L21/683 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
