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发明名称 SOR LITHOGRAPHY APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS62154600(A) 申请公布日期 1987.07.09
申请号 JP19850296967 申请日期 1985.12.27
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MATSUDA TETSUYA;NAKAMURA SHIRO
分类号 H05H13/04;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 H05H13/04
代理机构 代理人
主权项
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