发明名称
摘要
申请公布号 JPS6226764(Y2) 申请公布日期 1987.07.09
申请号 JP19810027643U 申请日期 1981.02.28
申请人 发明人
分类号 G03F1/00;G03F1/88;G03H1/18 主分类号 G03F1/00
代理机构 代理人
主权项
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