宽带付立叶变换测微技术

摘要

本发明涉及激光衍射测量细微物体和图形尺寸的方法。采用宽带付立叶变换镜头研制的激光测微仪可以测量2～200μm的微小尺寸。本发明根据付立叶镜头的设计要求，为使一般镜头用作副变镜头，提出使镜片按要求弯曲的办法，产生一定的球差来抵消衍射中的非线性偏差。用此方法可作出宽带付立叶变换镜头。用此镜头作成的专用激光测微仪，采用了标准光栅校准的方法，可以对2～200μm的物体进行绝对测量，并采用副瓣对管法可进行动态测量，在2～200μm之间的测量范围内能分辨出0.1％的直径变化。

主权项

1、一种用激衍射法测量微小物体直径的装置，其特征在于具有宽带付立叶变换测微镜头和用来进行动态测量而在sin2c函数各级付瓣中心所设置的PIN光电二极管。