| 发明名称 |
METHOD OF OPTICALLY DECIDING SURFACE PROFILE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS62153704(A) |
申请公布日期 |
1987.07.08 |
| 申请号 |
JP19860275518 |
申请日期 |
1986.11.20 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
GIYUNTAA MAKOSHIYU |
| 分类号 |
G01B11/30;G01B9/02;G01B11/24 |
主分类号 |
G01B11/30 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
