发明名称 Scanning capacitance microscope
摘要
申请公布号 USRE32457(E) 申请公布日期 1987.07.07
申请号 US19850811152 申请日期 1985.12.19
申请人 发明人
分类号 G01B7/28;G01N27/22;G11B23/00 主分类号 G01B7/28
代理机构 代理人
主权项
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