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发明名称
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摘要
申请公布号
JPS62150191(A)
申请公布日期
1987.07.04
申请号
JP19850295055
申请日期
1985.12.25
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
SEKIYA TOMOJI
分类号
G05D3/00;G12B5/00;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/67;H01L21/68
主分类号
G05D3/00
代理机构
代理人
主权项
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