发明名称 Vorrichtung und Verfahren zur Hochvakuumerzeugung
摘要
申请公布号 DE1489221(A1) 申请公布日期 1969.03.13
申请号 DE19631489221 申请日期 1963.05.31
申请人 VARIAN ASSOCIATES 发明人 L. ABRAMS,IRWIN;J. HARRA,DAVID;RIVERA,MICHAEL
分类号 H01J41/16;H01J41/20 主分类号 H01J41/16
代理机构 代理人
主权项
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