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VERFAHREN ZUR ERKENNUNG VON INHOMOGENITAETEN IN HALBLEITERSTRUKTUREN
摘要
申请公布号
DD247325(A1)
申请公布日期
1987.07.01
申请号
DD19860287563
申请日期
1986.03.05
申请人
VEB MIKROELEKTRONIK "KARL LIEBKNECHT",DD
发明人
EHRHARDT,LUTZ,DD;DOSS,RAINER,DD;GERL,HELMUT,DD
分类号
H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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