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发明名称
摘要
申请公布号 JPS6225712(Y2) 申请公布日期 1987.07.01
申请号 JP19800086043U 申请日期 1980.06.18
申请人 发明人
分类号 H01J37/20;C25F3/14;G01N1/06;G01N1/28;(IPC1-7):G01N1/28 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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