发明名称 |
Structured semiconductor body. |
摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft einen strukturierten Halbleiterkörper auf der Grundlage eines Si-Substrates mit Sperrbereichen, die polykristallines Silizium enthalten und die durch ein Si-MBE-Verfahren erzeugt sind. Die Sperrbereiche werden zu einer Abgrenzung von einkristallinen Si-Halbleiterstrukturen benötigt.</p> |
申请公布号 |
EP0226739(A1) |
申请公布日期 |
1987.07.01 |
申请号 |
EP19860114170 |
申请日期 |
1986.10.14 |
申请人 |
LICENTIA PATENT-VERWALTUNGS-GMBH;TELEFUNKEN ELECTRONIC GMBH |
发明人 |
KASPER, ERICH, DR. RER. NAT.;HERZOG, HANS-JOST, DIPL.-PHYS.;WORNER, KLAUS |
分类号 |
H01L21/20;H01L21/203;H01L21/763 |
主分类号 |
H01L21/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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