发明名称 Structured semiconductor body.
摘要 <p>Die Erfindung betrifft einen strukturierten Halbleiterkörper auf der Grundlage eines Si-Substrates mit Sperrbereichen, die polykristallines Silizium enthalten und die durch ein Si-MBE-Verfahren erzeugt sind. Die Sperrbereiche werden zu einer Abgrenzung von einkristallinen Si-Halbleiterstrukturen benötigt.</p>
申请公布号 EP0226739(A1) 申请公布日期 1987.07.01
申请号 EP19860114170 申请日期 1986.10.14
申请人 LICENTIA PATENT-VERWALTUNGS-GMBH;TELEFUNKEN ELECTRONIC GMBH 发明人 KASPER, ERICH, DR. RER. NAT.;HERZOG, HANS-JOST, DIPL.-PHYS.;WORNER, KLAUS
分类号 H01L21/20;H01L21/203;H01L21/763 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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