发明名称
摘要
申请公布号 JPS6225469(Y2) 申请公布日期 1987.06.30
申请号 JP19830185463U 申请日期 1983.11.30
申请人 发明人
分类号 B25B11/00;B65G49/07;B65G51/03;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):B65G51/03 主分类号 B25B11/00
代理机构 代理人
主权项
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