发明名称 Improvements in or relating to Corpuscular Beam Apparatus
摘要
申请公布号 GB1159525(A) 申请公布日期 1969.07.30
申请号 GB19670021309 申请日期 1967.05.08
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人
分类号 G01Q30/04;G01Q30/16;H01J37/20 主分类号 G01Q30/04
代理机构 代理人
主权项
地址