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发明名称 SLICE WAFER RECOVERY DEVICE
摘要
申请公布号 JPS62142613(A) 申请公布日期 1987.06.26
申请号 JP19850282941 申请日期 1985.12.18
申请人 HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD 发明人 SHIMURA TAKASHI;SATO HIROO;ISHIHARA TAKAO
分类号 B28D5/02;B28D1/22;B28D5/00;H01L21/304 主分类号 B28D5/02
代理机构 代理人
主权项
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