Measurement apparatus using a flexible piezoelectric film as sensor element.

摘要

Meßwertaufnehmer mit einem flexiblen piezoelektrischen Film als Meßelement zur Messung mechanischer Größen an Hohlkörpern, insbesondere des Druckverlaufes in Rohren, wobei die gegenüberliegenden Oberflächen des Filmes mit elektrisch leitenden Kontaktflächen eine feste Verbindung bilden und über Leitungen mit einer Anzeige- und Auswerteeinrichtung verbindbar sind. Um bei einem solchen Meßwertaufnehmer eine hohe Temperaturbeständigkeit zu erzielen, bzw. um solche Aufnehmer auch bei Temperaturen von mehr als 80° einsetzen zu können, ist vorgesehen, daß der piezoelektrische Film (7) aus einer gegen Hitze widerstandsfähigen, flexiblen Tragschichte z.B. einer flexiblen Metallfolie (4), wie einer Cu-Be-Folie, oder einer zumindest einseitig metallisierten Kunststoff-Folie(5) besteht, wobei auf der Metalloberfläche der Tragschicht ein gegen Hitze widerstandsfähiges piezoelektrisches Substrat, z.B. Wurzite, Sphalerite u.s.w., aufgebracht ist und auf dem piezoelektrischen Substrat (7) eine als zweite Elektrode (8) dienender elektrisch leitender Film, z.B. eine aufgedampfter metallischer Film, aufgebracht ist.