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发明名称 PROCESS FOR FORMING SULFIDE LAYERS
摘要
申请公布号 EP0111501(B1) 申请公布日期 1987.06.24
申请号 EP19830901689 申请日期 1983.05.02
申请人 HUGHES AIRCRAFT COMPANY 发明人 PETERS, JOHN W.
分类号 C23C16/30;C23C16/48;H01L21/314;H01L21/471;H01L31/0216;H01L31/18;(IPC1-7):C23C16/48 主分类号 C23C16/30
代理机构 代理人
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