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发明名称 CVD THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6299469(U) 申请公布日期 1987.06.24
申请号 JP19850191628U 申请日期 1985.12.14
申请人 发明人
分类号 B61B13/10;B61C3/02;B61C13/00;(IPC1-7):B61C3/02 主分类号 B61B13/10
代理机构 代理人
主权项
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