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发明名称 Verfahren zum AEtzen aus der Gasphase
摘要
申请公布号 DE1521881(A1) 申请公布日期 1969.10.16
申请号 DE19661521881 申请日期 1966.07.23
申请人 MOTOROLA INC. 发明人 EDWIN TAYLOR,WILLIAM;NASSIME KLINK,HOWARD
分类号 H01L21/3065 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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