发明名称 METHOD OF FORMING GALLIUM ARSENIDE FILMS BY VACUUM DEPOSITION TECHNIQUES
摘要
申请公布号 US3476593(A) 申请公布日期 1969.11.04
申请号 USD3476593 申请日期 1967.01.24
申请人 FAIRCHILD CAMERA & INSTRUMENT CORP. 发明人 WILLIAM I. LEHRER
分类号 C23C14/00;C30B23/02;(IPC1-7):B44D1/02;B44D1/18;C23C13/02 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
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