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发明名称
摘要
申请公布号
JPS6228487(B2)
申请公布日期
1987.06.20
申请号
JP19790080131
申请日期
1979.06.27
申请人
ULVAC CORP
发明人
NAKAMURA KYUZO;OOTA YOSHIFUMI
分类号
G11B5/66;G11B5/64;G11B5/84;G11B5/85;H01F41/20
主分类号
G11B5/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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