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发明名称
摘要
申请公布号 JPS6296842(U) 申请公布日期 1987.06.20
申请号 JP19850187189U 申请日期 1985.12.06
申请人 发明人
分类号 H01J37/21;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 H01J37/21
代理机构 代理人
主权项
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