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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR OPTICALLY INSPECTING PRECISION OF SIZEOF PART OR TEST PIECE
摘要
申请公布号 JPS62137503(A) 申请公布日期 1987.06.20
申请号 JP19860130001 申请日期 1986.06.04
申请人 S & S ELECTRON GEREETEBAU GMBH 发明人 HERUMUUTO FURITSUSHIYU;AROISU BUEEBAA
分类号 G01B11/02 主分类号 G01B11/02
代理机构 代理人
主权项
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