发明名称 CHAMBRE DE REACTEUR POUR CROISSANCE EPITAXIALE EN PHASE VAPEUR DES MATERIAUX SEMICONDUCTEURS.
摘要 <P>Chambre de réacteur pour effectuer la croissance épitaxiale en phase vapeur de couches de matériaux semiconducteurs sur des substrats semiconducteurs, cette chambre étant principalement constituée d'un tube contenant un suscepteur pour le substrat, tube dans lequel circule d'une extrémité vers l'autre extrémité des composés gazeux sous une pression et une température appropriées à obtenir la croissance épitaxiale des couches monocristallines sur le substrat, caractérisée en ce qu'elle est équipée d'un dispositif de pilotage de la température de la paroi de la chambre opposée au suscepteur, cette paroi étant dite plafond de la chambre, pour provoquer des variations du profil de dépôt de la couche épitaxiale réalisée sur le substrat. <BR/> Application : réalisation de composants discrets en semiconducteurs III-V. <BR/> (CF DESSIN DANS BOPI)<BR/> <BR/></P>
申请公布号 FR2591616(A1) 申请公布日期 1987.06.19
申请号 FR19850018677 申请日期 1985.12.17
申请人 LABO ELECTRONIQUE PHYSIQUE APPLI 发明人 PETER MICHAEL FRIJLINK
分类号 H01L21/205;C30B25/10;C30B25/12;C30B25/16;C30B25/18;(IPC1-7):C30B23/02;C30B29/00 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
地址