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经营范围
发明名称
DUENNFILMLEITER UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES DUENNFILMLEITERS
摘要
申请公布号
DE3628513(A1)
申请公布日期
1987.06.19
申请号
DE19863628513
申请日期
1986.08.22
申请人
ANRITSU CORP.
发明人
KODATO,SETSUO
分类号
H01L35/14;G01J5/02;G01J5/12;G01J5/14;G01L1/22;H01B1/04;H01C7/00;H01L29/16;H01L35/30;(IPC1-7):H01B1/04;H01C7/06;C23C16/22
主分类号
H01L35/14
代理机构
代理人
主权项
地址
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