发明名称 DUENNFILMLEITER UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES DUENNFILMLEITERS
摘要
申请公布号 DE3628513(A1) 申请公布日期 1987.06.19
申请号 DE19863628513 申请日期 1986.08.22
申请人 ANRITSU CORP. 发明人 KODATO,SETSUO
分类号 H01L35/14;G01J5/02;G01J5/12;G01J5/14;G01L1/22;H01B1/04;H01C7/00;H01L29/16;H01L35/30;(IPC1-7):H01B1/04;H01C7/06;C23C16/22 主分类号 H01L35/14
代理机构 代理人
主权项
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