发明名称 |
VERFAHREN ZUM AUFBRINGEN EINES IC AUF EIN SUBSTRAT |
摘要 |
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申请公布号 |
DE3543643(A1) |
申请公布日期 |
1987.06.19 |
申请号 |
DE19853543643 |
申请日期 |
1985.12.11 |
申请人 |
LICENTIA PATENT-VERWALTUNGS-GMBH |
发明人 |
FAHRENSCHON,KURT |
分类号 |
H01L21/60;H05K3/32;(IPC1-7):H01L21/92 |
主分类号 |
H01L21/60 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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