发明名称 VERFAHREN ZUM AUFBRINGEN EINES IC AUF EIN SUBSTRAT
摘要
申请公布号 DE3543643(A1) 申请公布日期 1987.06.19
申请号 DE19853543643 申请日期 1985.12.11
申请人 LICENTIA PATENT-VERWALTUNGS-GMBH 发明人 FAHRENSCHON,KURT
分类号 H01L21/60;H05K3/32;(IPC1-7):H01L21/92 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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