光接收元件

摘要

一种光接收元件，包括基片、光敏层和表层。光敏层由含硅原子和锗原子或锡原子中至少一种的非晶材料组成，表层为多层结构，基片表面具有球形凹痕组成的不平面，每个凹痕内面具有更微小的不平面。光接收元件克服了所有由非晶硅组成的光接收层构成的普通光接收元件中存在的问题，尤其它有效地防止了由于干涉现象造成成象的干涉条纹，从而能摄制高质量的清晰影象，即使是使用可产生干涉的相干激光束作为光源。

主权项

1、一种光接收元件，其特征在于，该元件包括基片和光接收层，该光接收层具有由含硅原子和锗原子或锡原子中至少一种的非晶材料组成的光敏层，以及一个表面层，该表面层为多层结构，至少具有最外层的防磨层和内部的防反射层，所说的基片具有由球形凹痕形成的不平面，每个球形凹痕都具有内面，内面上有更微小的不平面。