发明名称 TOTAL ENCAPSULATED LOW PRESSURE DOOR CLOSURE APPARATUS FOR A SILICON CHIP PROCESS TUBE
摘要
申请公布号 GB2184175(A) 申请公布日期 1987.06.17
申请号 GB19860021158 申请日期 1986.09.02
申请人 CLEON R * YATES 发明人 CLEON R * YATES
分类号 H01L21/00;H01L21/677;(IPC1-7):B65G47/00;F16J15/02 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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