发明名称 SEMICONDUCTOR PRESSURE TRANSDUCER
摘要
申请公布号 EP0080186(B1) 申请公布日期 1987.06.16
申请号 EP19820110712 申请日期 1982.11.19
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 SHIMADA, SATOSHI;YAMADA, KAZUJI;SUZUKI, SEIKOU;KOBORI, SHIGEYUKI;NISHIHARA, MOTOHISA
分类号 G01L9/00;G01L13/02;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/06;G01L9/12 主分类号 G01L9/00
代理机构 代理人
主权项
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