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发明名称 VERDAMPINGSINRICHTING.
摘要
申请公布号 NL181880(B) 申请公布日期 1987.06.16
申请号 NL19840000053 申请日期 1984.01.06
申请人 VAC-TEC SYSTEMS, INC. TE BOULDER, COLORADO, VER. ST. V. AM. 发明人
分类号 C23C14/32;H01J37/32;(IPC1-7):C23C14/30;H01J37/317 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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