发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR EVALUATING SURFACE CONDITIONS OF A SAMPLE |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0162681(A3) |
申请公布日期 |
1987.06.16 |
申请号 |
EP19850303509 |
申请日期 |
1985.05.20 |
申请人 |
THERMA-WAVE INC. |
发明人 |
ROSENCWAIG, ALLAN;SMITH, WALTER LEE |
分类号 |
G01N21/00;G01N21/17;G01N21/55;(IPC1-7):G01N21/17;G01N25/00;G01N25/72 |
主分类号 |
G01N21/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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