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发明名称 MANUFACTURE OF MULTILAYER WIRING
摘要
申请公布号 JPS62133799(A) 申请公布日期 1987.06.16
申请号 JP19850273738 申请日期 1985.12.05
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NISHITANI MIKIHIKO;SETSUNE KENTARO;TERAUCHI MASAHARU;NOMURA KOJI;OGAWA KUNI
分类号 H01L21/3213;H01L21/3205;H05K3/00;H05K3/46 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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