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发明名称 PROCESS FOR OBTAINING RESIST PATTERNS
摘要
申请公布号 EP0167111(A3) 申请公布日期 1987.06.16
申请号 EP19850107958 申请日期 1985.06.27
申请人 BASF AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 PETERMANN, JUERGEN, PROF. DR.;FUCHS, HARALD, DR.
分类号 G03F7/20;G03C5/08;G03F7/038;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/10 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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