发明名称 METHOD OF OBTAINING DESIRED PATTERNS OF THIN ALUMINIUM OXIDE AL DOWN 2 O DOWN 3
摘要
申请公布号 PL256367(A1) 申请公布日期 1987.06.15
申请号 PL19850256367 申请日期 1985.11.21
申请人 INST TECH ELEKTRONOWEJ 发明人 MURAWSKI WOJCIECH
分类号 H01L;H01L21/31;(IPC1-7):H01L/ 主分类号 H01L
代理机构 代理人
主权项
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