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发明名称 MOLECULAR JET GENERATOR
摘要
申请公布号 JPS62132313(A) 申请公布日期 1987.06.15
申请号 JP19850271279 申请日期 1985.12.02
申请人 CIE GENERALE D'ELECTRICITE <CGE> 发明人 DANIERU YUE;MARUKU RANBEERU
分类号 H05H3/02;C30B23/02;C30B23/06;H01L21/203;H01L21/205 主分类号 H05H3/02
代理机构 代理人
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