| 摘要 |
<P>L'invention concerne un dispositif d'insolation pour la génération de masques à partir d'un système de conception assistée par ordinateur, qui comprend : <BR/> - un tube à rayons cathodiques qui fournit une image du masque sur l'écran du tube, <BR/> - et un système optique qui projette l'image du masque sur un support à insoler. <BR/> Elle est remarquable en ce que le tube à rayons cathodiques est un tube à haute brillance dont l'écran est muni premièrement d'un luminophore émettant dans l'ultraviolet, et deuxièmement d'un circuit de refroidissement du luminophore, et en ce que le système optique est un système optique pour l'ultraviolet qui opère sur l'image ultraviolette fournie par l'écran du tube à haute brillance. <BR/> Application : réalisation de masques pour la fabrication de circuits intégrés ou pour les technologies couches minces ou couches épaisses. <BR/> (CF DESSIN DANS BOPI)<BR/> <BR/></P>
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