发明名称 Induktionsheizspule zum tiegelfreien Zonenschmelzen von Staeben aus Halbleitermaterial
摘要
申请公布号 DE1615429(A1) 申请公布日期 1970.05.27
申请号 DE19671615429 申请日期 1967.12.23
申请人 SIEMENS AG 发明人 WOLFGANG KELLER,DR.;SPORRER,LUDWIG;STROESSNER,MANFRED
分类号 C23C4/02;C23C4/04;C30B13/20;H05B6/36 主分类号 C23C4/02
代理机构 代理人
主权项
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