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摘要
申请公布号
JPS6226189(B2)
申请公布日期
1987.06.08
申请号
JP19770061524
申请日期
1977.05.25
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
SAKURAI HIROMI;INOE KEIJI
分类号
H01L29/73;H01L21/331;H01L29/08;H01L29/72
主分类号
H01L29/73
代理机构
代理人
主权项
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