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发明名称 SUBSTRAT MULTICOUCHES COMPORTANT UNE FINE STRUCTURE DE CABLAGE POUR CIRCUITS A INTEGRATION A GRANDE ECHELLE OU INTEGRATION A TRES GRANDE ECHELLE
摘要
申请公布号 FR2569493(B1) 申请公布日期 1987.06.05
申请号 FR19840013128 申请日期 1984.08.23
申请人 NEC CORP 发明人 SHOJI NAKAKITA
分类号 H01L23/538;H05K1/09;H05K3/00;H05K3/10;H05K3/38;H05K3/40;H05K3/46;(IPC1-7):H01L21/90 主分类号 H01L23/538
代理机构 代理人
主权项
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