| 发明名称 |
PROCEDIMENTO PER LA DEPOSIZIONE DI SILICIO DA PLASMA AD ALTA PRESSIONE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IT1170904(B) |
申请公布日期 |
1987.06.03 |
| 申请号 |
IT19810048316 |
申请日期 |
1981.04.21 |
| 申请人 |
MOTOROLA INC. |
发明人 |
SARMA KALLURI R.;RICE M. JOHN JR.;LESK ARNOLD I. |
| 分类号 |
C01B33/02;C23C14/22;C23C16/01;C23C16/513;(IPC1-7):C30B/ |
主分类号 |
C01B33/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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