GAS FLOW IN PLASMA TREATMENT PROCESSES,申请号EP19830301604-传众专利搜索

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发明名称	GAS FLOW IN PLASMA TREATMENT PROCESSES
摘要
申请公布号	EP0090586(B1)	申请公布日期	1987.06.03
申请号	EP19830301604	申请日期	1983.03.22
申请人	FUJITSU LIMITED	发明人	FUJIMURA, SHUZO
分类号	B01J19/08;C23C16/452;C23C16/455;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23C16/50	主分类号	B01J19/08
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