发明名称 FLUSSOMETRO DI MASSA TERMICO
摘要
申请公布号 IT1169746(B) 申请公布日期 1987.06.03
申请号 IT19830022022 申请日期 1983.07.12
申请人 MKS INSTRUMENTS INC 发明人 EWING JAMES H;RAMBERG FRED G
分类号 G01F1/68;G01F1/684;G01F1/688;G01F1/698;G01F1/699;G01F15/04;(IPC1-7):G01K/ 主分类号 G01F1/68
代理机构 代理人
主权项
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