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经营范围
发明名称
BREAKING DEVICE FOR WAFER
摘要
申请公布号
JPS62121015(A)
申请公布日期
1987.06.02
申请号
JP19850262886
申请日期
1985.11.21
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
YOSHIMOTO TADAO;OKU NAOKI
分类号
H01L21/301;B26F3/00;B28D5/00;H01L21/78
主分类号
H01L21/301
代理机构
代理人
主权项
地址
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