发明名称 PROCEDE DE GRAVURE PHOTO-ELECTROCHIMIQUE D'UN MATERIAU SEMI-CONDUCTEUR
摘要
申请公布号 FR2563378(B1) 申请公布日期 1987.05.29
申请号 FR19840006378 申请日期 1984.04.24
申请人 THOMSON CSF 发明人 GONZALO VELASCO, NOEL NOUAILLES ET DIDIER PRIBAT;NOUAILLES NOEL;PRIBAT DIDIER
分类号 H01L21/3063;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/3063
代理机构 代理人
主权项
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