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发明名称 FORMATION OF DIELECTRIC THIN FILM
摘要
申请公布号 JPS62117203(A) 申请公布日期 1987.05.28
申请号 JP19850256918 申请日期 1985.11.15
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KUWATA JUN;NISHIKAWA MASAHIRO;TODA TAKAO;FUJITA YOSUKE;MATSUOKA TOMIZO;ABE ATSUSHI
分类号 H01B3/00;C23C14/06;C23C14/34 主分类号 H01B3/00
代理机构 代理人
主权项
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